Término solicitado: BRANAUSKAS, VICTOR^RED./(22)
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| Tipo de Docum.: | libro |
| Título: | Processos de microelectrônica |
| Autor: | Branauskas, Victor. ed. |
| Autor Instit.: | Sociedade Brasileira de Vácuo. SBV. BR; Sociedade Brasileira de Microelectrônica. SBmicro. BR |
| Idioma: | por |
| Datos de Edición: | s.l. PT. SBV, SBmicro. 1990. |
| Pág./Vol.: | pag. varía. |
| Descriptores: | Microelectrónica; Materiales; Cristales; Gases; Semiconductores; Silicio; Cristalización; Nitrógeno; Oxígeno; Hidrógeno; Helio; Contaminación ambiental; Litografía; Circuitos integrados; Fabricación; Aplicaciones; Iones; Dispositivos; Equipamiento |
| Ubicación: | Electrónica/I-4 |
| Disponibilidad: | INTI-Electrónica e Informática |
Fin
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